NXXD-SH-20型硅料清洗机适用于6-200mm多晶硅料的酸腐蚀、清洗处理。用户操作人员手动上料后,手动酸腐蚀后,全过程自动化控制,减少人工干预。设备具有自动化程度高,运行成本低,生产效率高,性能稳定,安全可靠等特点。 工艺处理部分(即槽体部分)是NXXD-SH-20型硅料清洗机的主要部分,是完成预定工艺过程的载体。它主要由一个腐蚀槽、一个DI水清洗槽、一个水中传递槽、三个超声槽及一个三级溢流槽等组成。每槽均可满足用户每次清洗15Kg硅料。 1#槽为腐蚀槽,槽体由NPP材料焊接加工,槽体尺寸为400 mm×400mm×400mm(高度尺寸指从槽体下部隔板到槽体**部的尺寸),DI、化学液自动注入,废液排放为电动气控阀门控制排放,由用户回收处理,;配有气缸抖动装置,抖动速度可调,使腐蚀清洗更均匀;抖动系统为气缸驱动,气缸外套保护管,配有氮气保护,抖动为托盘式,托盘底部为孔板;抖动行程为50mm,抖动连接为PP套管,防腐性能及起到加强筋作用。 2#槽为DI水清洗槽,槽体由NPP材料焊接而成,槽体尺寸为400 mm×400mm×400mm(高度尺寸指从槽体下部隔板到槽体**部的尺寸),槽体采用四面溢流结构,DI水从槽体底部自动注入。废液排放由电控气动阀门实现,废液直接排入设备底部,进入排放管道,;配有气缸抖动装置,抖动速度可调,使腐蚀清洗更均匀;抖动系统为气缸驱动,气缸外套保护管,配有氮气保护,抖动为托盘式,托盘底部为孔板;抖动行程为50mm,抖动连接为PP套管,防腐性能及起到加强筋作用。 3#槽为水中传递槽, 槽体尺寸为800 mm×400mm×400mm(高度尺寸指从槽体下部隔板到槽体**部的尺寸),槽体由NPP材料焊接而成。底部有传动机构,通过传感器感应花篮位置,然后传递到机械手位置。 4、5、6#槽为超声清洗槽, 槽体尺寸为400 mm×400mm×400mm(高度尺寸指从槽体下部隔板到槽体**部的尺寸),槽体SUS304焊接而成。清洗方式:槽底上水漂洗,漂洗过程中伴有超声抖动及溢流排放;超声波系统:超声系统为分体式(振子、电源分开),振板材质为2.0mmSUS304,功率:1500W,频率28KHZ且可调;抖动为两端双气缸控制保证抖动稳定性;配有气缸抖动装置,抖动速度可调,使腐蚀清洗更均匀;抖动系统为气缸驱动,气缸外套保护管,配有氮气保护,抖动为托盘式,托盘底部为孔板;抖动行程为50mm,抖动连接为PP套管,防腐性能及起到加强筋作用. 7#三级溢流槽,槽体尺寸为1300 mm×400mm×400mm,清洗方式:槽底上水漂洗,漂洗过程中伴有溢流排放以达到更好的清洗效果; 抖动为两端双气缸控制保证抖动稳定性;配有气缸抖动装置,抖动速度可调,使腐蚀清洗更均匀;抖动系统为气缸驱动,气缸外套保护管,配有氮气保护,抖动为托盘式,托盘底部为孔板;抖动行程为50mm,抖动连接为PP套管,防腐性能及起到加强筋作用。